Мариуш Бенуа родился во Вроцлаве. Дебютировал в кино в детстве — в 1961 году. Актёрское образование получил в Киношколе в Лодзи, которую окончил в 1974 г. Актёр театров в Варшаве (Всеобщий театр 1974—1990 и 2005—2007, Национальный 1997—2001, «Розмаитости» 2001—2005, Драматический 2009—2011). Преподаватель Театральной академии им. А. Зельверовича в Варшаве с 1982. Выступает в спектаклях «Театра телевидения» с 1975 и «Театра Польского радио» с 1985 г.Его отец — актёр Людвик Бенуа.